化学分析・環境測定
最先端の半導体工場で培った分析技術とノウハウで
様々なニーズの微量分析に対応いたします
排水分析や薬液・純水中の金属分析,作業環境測定,半導体関連の分析をお引き受けいたしますので,気軽に御相談ください。
測定はクリーンルーム内で行ないますので試料への汚染が少なく微量分析が可能です。
主な分析の特徴
例えば、次のような分析が可能です。
- 純水や薬液中の無機・有機不純物をｐｐｔオーダーで分析
- 労働安全衛生法で定められた作業環境測定
- 材料の組成・不純物分析
- 半導体ウェーハの表面,膜中,裏面及びスポット分析
- クリーンルーム等の雰囲気中の無機・有機不純物を幅広い成分について測定
分析事例紹介
- インピンジャーサンプリング法： 雰囲気中の不純物を評価する方法をご紹介
- 吸着管サンプリング法： 雰囲気中の有機物を評価する方法をご紹介
主要分析装置
弊社では、クリーンルーム内に分析機器を設置し、様々な分析ニーズに対応いたしております。
| 装置名 | 主な分析事例 |
|---|---|
| ＩＣＰ質量分析装置 (ICP-MS) | 薬液中の金属不純物分析 試料表面､母材の金属不純物分析 雰囲気中のB,P濃度分析 |
| 偏光ゼーマン原子吸光光度計 (ZAA) | 薬液中の金属不純物分析 試料表層､母材の金属不純物分析 |
| プラズマ発光分析装置 (ICP) | 半導体ウェーハスパッタ膜の組成分析 材料中の不純物分析 |
| 全反射蛍光X線分析装置 (TXRF) | 半導体ウェーハ表面の金属不純物分析 |
| イオンクロマトグラフ (ICG) | 雰囲気中の微量不純物分析 超純水中の微量不純物分析 陰,陽,重金属イオン,有機酸,アミン |
| ガスクロマトグラフ質量分析装置 (GC-MS) | 雰囲気中の有機物濃度測定 材料表層の有機物分析 |
| ガスクロマトグラフ (P&T-GC) | 材料中の揮発有機物分析 純水､地下水中の揮発性有機物測定 |
| 顕微蛍光分光光度計 (MFS) | 有機物の定性分析 半導体ウェーハ表面残留物の定性分析 |
| フーリエ変換型赤外分光光度計 (FTIR) | 有機異物の定性分析 半導体ウェーハの酸化膜､P-Si膜評価 |
| 大気圧イオン化質量分析装置 (API-MS) | ラインガス中の不純物分析 |
許認可一覧
- 作業環境測定機関 茨城県労働局登録 第０８－２７号
- 計量証明事業 茨城県計量検定所登録 濃度 第４８号